High Sensitive MEMS Intraocular Capacitive Pressure Sensor (Glaucoma)

الملخص

الأنظمة الميكانيكية الكهرو ميكانيكية الدقيقة(MEMS) هي تقنية صغيرة الحجم تم تبنيها بشكل كبير من قبل صناعة الدوائر المتكاملة (IC) وتطبيقها على تصغير جميع الأنظمة (الأنظمة الكهربائية والميكانيكية والضوئية والموائع والمغناطيسية وغيرها). تم تحقيق الحد الأدنى من خلال عمليات التصنيع الصغيرة. مستشعر الضغط السعوي هو ببساطة جهاز من نوع الحجاب الحاجز يتم فيه تحديد إزاحة الحجاب الحاجز عن طريق قياس تغير السعة بين الحجاب الحاجز ولوحة معدنية قريبة منه.

لهذا الغرض، وأجهزة استشعار الضغط داخل العين مهمة في الكشف عن وعلاج مرض عضال يسمى الجلوكوما. لتحسين حساسية مستشعر الضغط بالسعة، يتم استخدام مادة البولي سيلكون منخفضة التوتر المخدر كمادة متوافقة حيويا. الجلوكوما هو مجموعة من أمراض العيون التي تحدث بسبب ارتفاع ضغط العين (IOP). IOP هو الضغط الذي يمارسه سائل العين يسمى الفكاهة المائية (السائل الواضح داخل العين) الذي يملأ الغرفة الأمامية للعين

تظهر النتائج العلاقة المحاكاة بين السعة والضغط لـ ++ clamped silicon وpolysilicon. يمكن أن نرى من الشكل أن السعة الأولية لسيليكون p ++ المشكل هي حوالي 1.81 pF تتراوح السعة من 1.81 إلى 2.162 pF للسليكون p ++ المشدد والحجاب الحاجز polysilicon، على التوالي وبالتالي فإن التغير الكلي للسعة. هذه النتيجة تبين استخدام مادة البولي سيليكون في الحجاب الحاجز حساسية عالية من السيليكون p + +.